深圳维尔克斯光电有限公司

维尔克斯光电提供用于各种激光精密加工的激光透镜，通过衍射光学元件对激光能量的精密调控，在加工面上得到微米级尺寸的平顶光斑、轴向多个焦点、超长焦深或激光精密分束等效果。从而满足日益增长的激光玻璃激光切割、蓝宝石切割、激光精密打孔、微米级激光钻孔、高精度激光剥离和激光熔覆等新型应用的需求。例如多焦点或长焦深的激光透镜能够对材料进行深度切割，从而使玻璃和蓝宝石的切割变得容易；用激光分束镜把激光分成能量完全先沟通的两束，就能使打标效率提高一倍；而整形成平顶光斑就能获得近 的打孔效果，孔壁陡直同时避免热损伤。

维尔克斯光电光学方案的核心是衍射光学元件 (DOE)，虽然衍射光学元件只有一层薄薄的表面微结构，但其能够获得正方形、圆形、矩阵、圆环、网格和文字LOGO等多种形状，并且能够实现能量分布控制、相位控制和 均匀性等神奇的效果。


用激光多焦点透镜实现对玻璃、蓝宝石的激光切割 目前，市场对于玻璃和蓝宝石切割的需求越来越多，对切割的效果也提出了越来越高的要求――强度高、边缘效果好，同时锥度趋向于0°。目前的激光设备商对达到这么高的要求和保证成品率还有一定的，原先的方案显然无法满足这一要求，新的解决方案需求迫在眉睫。激光多焦点透镜无疑是一个很好的选择。

激光隐形切割及其局限性 隐形切割是一种常用的激光切割玻璃和蓝宝石的方法。激光隐形切割的原理是将短脉冲激光光束透过切割材料表面聚焦在材料中间，由于短脉冲激光瞬时能量 ，在材料中间形成改质层，然后通过外部施加压力使芯片分开。激光隐形切割具有切割速度快、切割不产生粉尘、无切割基材耗损、所需切割道很小、完全干制程等诸多优势。
激光表面烧蚀切割 及其局限性
不足之处： 　　1. 切割效率往往低于隐形切割； 　　2. 部分晶圆切割前需要涂覆保护液，切割完后需要清洗保护液； 　　3. 晶圆越厚需要切割越深，表面的开口就越大，热影响区也就越大。


采用 维尔克斯光电 多焦点激光透镜方案解决激光切割玻璃、蓝宝石的问题： 采用维尔克斯光电多焦点激光透镜，配以专门的光学设计，切割玻璃或蓝宝石的时候就能得到边缘光滑、无挂渣、无毛刺和切割面几乎无坡度的效果，把加工质量提升一个等级，满足越来越精益的产品需求。 所谓激光多焦点透镜，是一种衍射光学元件，也称为DOE（ Diffractive Optical Elements ）。多焦点激光透镜（ Multifocal lens ）的功能是使入射激光在传播方向上同时形成多个焦点的光学元件，焦点数量和焦点间距都可通过透镜设计来控制，从而满足某些特殊场合的应用，特别是激光蓝宝石切割和激光玻璃切割。 采用激光多焦点透镜能够在切割材料是形成一个 长的“焦深”，新的焦深长度可认为是 前端焦点到 端焦点的距离，范围可以从 10μm到2mm ，甚至 。相当于对材料有一个较深的切割深度，同时在切割深度上能量分布大体均匀，这样就容易得到较好的切割效果。 传统的激光切割方法只能对材料的表面起作用，而多焦点透镜方法则是深入材料内部，在一个纵深上同时切割。传统的方法类似于用玻璃刀在玻璃表面画线，然后掰开，多焦点方法 像是用剪刀划开一道很深的口子，然后再分离开，显然后一种方法会具有明显 的加工效果。

玻璃激光切割、蓝宝石激光切割的另一种选择――长焦深透镜

用于 激光精密打孔 、 微米激光钻孔 的平顶光束整形器
不过工业技术的进步提出了越来越精密的加工要求，激光打孔也应用到了 广泛的领域，例如 半导体领域 。 而在这其中， 关键的技术是采用激光光束整形器，获得能量高度均匀、具有截止边沿且尺寸准确的微米级平顶激光光斑。 对于PCB打孔而言，平顶光束整形器能够大大提高钻孔内部的光滑度，消除对小孔边缘材料的损伤，满足排布日益精密的 PCB 产业的要求。 维尔克斯光电 的 平顶光束整形器又称为 聚焦型平顶光束 光束整形镜 、激光平顶透镜 、平顶光斑 DOE。平顶光束整形镜属于衍射光学元件，也称为DOE（Diffractive Optical Elements）， 平顶光束整形器 的 作用是把激光光束转化为一个 几十到几百微米大小的 能量 高度均匀 的光斑，光斑形状可以是正方形、圆形或其它形状。 Holoor的光束整形元件/ 透镜具有 的损伤阈值和 非常好的能量均匀性， 专门为各种激光精密加工设计， 能够实现各种严苛条件的高精度激光加工应用。


用于高效激光打标系统的激光分束器
激光光束分束器是使 一束 激光光束分解为多个激光光束的元件， 被分解的激光光束虽然每束光的功率降低，但直径、波形完全和入射光相同。 从而在同一焦平面上形成多个激光光斑或激光线 。利用激光分束器，可以把原本激光单点打标变成多点同时打标，从而大大提高激光加工的效率。